LMS International(現為Siemens Digital Industries Software旗下品牌)成立于1976年,總部位于比利時魯汶(Leuven),是噪聲與振動測試(NVH)、結構動力學分析和機電系統仿真領域的全球領導者。2012年,LMS被西門子收購,其技術整合至西門子數字化工業軟件解決方案中。
高精度振動/聲學傳感器:納米級分辨率,適用于超精密測量
測試與仿真軟件:LMS Test.Lab、LMS SCADAS硬件平臺
行業應用:航空航天、汽車NVH、微機電系統(MEMS)、精密制造
LMS的納米級振動傳感器主要用于超精密機械、光學平臺、半導體設備的微振動監測,分辨率達亞納米級(<1nm)。
型號 | 量程 | 分辨率 | 帶寬 | 特點 |
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LMS LDV-100 | ±1mm | 0.1nm | 0-25kHz | 單點測振,光學隔離設計 |
LMS LDV-200 | ±5mm | 0.05nm | 0-50kHz | 高頻響應,適用于MEMS器件 |
型號 | 量程 | 分辨率 | 線性度 |
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LMS CDS-10 | ±100μm | 0.5nm | ±0.1% FS |
LMS CDS-20 | ±500μm | 1nm | ±0.05% FS |
型號 | 靈敏度 | 頻率范圍 | 重量 |
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LMS PA-1N | 100mV/g | 0.1-10kHz | 0.5g |
LMS PA-0.5N | 500mV/g | 0.5-8kHz | 0.2g |
型號 | 測量維度 | 適用場景 |
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LMS 3D-NV100 | X/Y/Z | 光學平臺隔振評估 |
LMS 3D-NV200 | X/Y/Z+旋轉 | 半導體光刻機振動分析 |
型號 | 環境適應性 |
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LMS LDV-100HT | -40°C ~ +300°C |
LMS CDS-10VAC | 真空兼容(10^-6 mbar) |
型號/名稱 | 功能 |
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LMS SCADAS Mobile | 便攜式數據采集前端 |
LMS Test.Lab | 振動分析與模態測試軟件 |
LMS CAL-NANO | 納米級校準系統(NIST可溯源) |
亞納米分辨率:激光干涉技術確保0.05nm精度
抗干擾設計:
主動隔振光學臺兼容(ISO Class 1潔凈室標準)
電磁屏蔽(EMC/EMI認證)
智能分析:
實時FFT/階次分析
與西門子Simcenter 3D軟件無縫集成
其他注意事項:
更詳細的技術資料需通過提供項目詳情獲取,歡迎咨詢。
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