美國Advanced Energy (AE) 公司及刻蝕機射頻電源介紹
Advanced Energy Industries, Inc.是一家全球領(lǐng)先的高精度電源轉(zhuǎn)換、測量和控制系統(tǒng)供應(yīng)商，總部位于美國科羅拉多州。公司成立于1981年，專注于為半導(dǎo)體、工業(yè)、醫(yī)療和數(shù)據(jù)中心等高科技領(lǐng)域提供創(chuàng)新的電源解決方案。在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，AE的射頻（RF）電源以高穩(wěn)定性、精確控制和長壽命著稱，廣泛應(yīng)用于刻蝕（Etch）、化學(xué)氣相沉積（CVD）等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)。
